发明名称 Method of forming electrical connections for a semiconductor
摘要
申请公布号 EP0833381(A3) 申请公布日期 1998.12.16
申请号 EP19970116465 申请日期 1997.09.22
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 SUGIMOTO, SHIGEKI;OKUMURA, KATSUYA
分类号 H01L23/522;H01L21/304;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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