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发明名称
摘要
申请公布号 JP2835338(B2) 申请公布日期 1998.12.14
申请号 JP19890067763 申请日期 1989.03.22
申请人 KONIN* FUIRITSUPUSU EREKUTORONIKUSU NV 发明人 PETERU FURIEIRINKU
分类号 C30B25/08;C30B25/12;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/08 主分类号 C30B25/08
代理机构 代理人
主权项
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