发明名称 LAYOUT METHOD FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH10321729(A) 申请公布日期 1998.12.04
申请号 JP19970130622 申请日期 1997.05.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KONISHI MASAFUMI
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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