| 发明名称 |
DRYING TREATMENT METHOD AND APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10321586(A) |
申请公布日期 |
1998.12.04 |
| 申请号 |
JP19970141112 |
申请日期 |
1997.05.16 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;MOTOYAMA SEISAKUSHO:KK |
发明人 |
KOMINO MITSUAKI;UCHISAWA OSAMU |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/00;H01L21/08;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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