| 发明名称 |
OPTICAL IRREGULARITY INSPECTION DEVICE AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10318937(A) |
申请公布日期 |
1998.12.04 |
| 申请号 |
JP19970131915 |
申请日期 |
1997.05.22 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YOSHIHARA KAZUHIRO |
| 分类号 |
G01N21/88;G01M11/00;G01N21/00;G01N21/89;G01N21/892;G01N21/93;H01J9/14;H01J9/42;(IPC1-7):G01N21/89 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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