| 发明名称 |
TESTING METHOD AND TESTING EQUIPMENT OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10321685(A) |
申请公布日期 |
1998.12.04 |
| 申请号 |
JP19970131249 |
申请日期 |
1997.05.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA ELECTRON ENG CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
MAKUTA AKIO |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/66;H01S3/18 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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