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经营范围
发明名称
ALUMINUM WIRING AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH10321627(A)
申请公布日期
1998.12.04
申请号
JP19970132113
申请日期
1997.05.22
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
NOBORI SACHIKO;HASHIMOTO HIDEO;MURAKAMI YOSHIKI;TOKUMASU HIROYUKI
分类号
C23C22/66;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
C23C22/66
代理机构
代理人
主权项
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