| 摘要 |
<p>Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Schichtdickenregelung insbesondere von Bondschichten zur Verfügung gestellt, bei dem das Bonden unter Berücksichtigung des Einflusses von Störgrößen programmiert gesteuert wird. Die Erfindung kann insbesondere bei der Herstellung von DVDs eingesetzt werden. Die Vorteile der Erfindung liegen in einer reproduzierbaren Genauigkeit bei der Einstellung der Schicht/Bondschichtdicke und somit in einer Erhöhung der Ausbeute des Herstellungsprozesses.</p> |
