| 发明名称 | 干燥装置以及干燥方法 | ||
| 摘要 | 本发明的目的是抑制处理对象的干燥不良现象。向喷嘴34提供IPA液,IPA液通过流出孔35流出而形成IPA液的流体29。流体29以膜状的形式沿处理槽11侧壁的内侧表面流下,之后,通过在处理槽11下部形成的液体接收部36排向外部。由于处理槽11侧壁的内侧表面被IPA液的流体29覆盖,所以,抑制了IPA蒸汽在该内侧表面上无用的凝结。因此,可有效利用IPA蒸汽在置于接受器皿6上的处理对象表面凝结,从而抑制处理对象的干燥不良。 | ||
| 申请公布号 | CN1200562A | 申请公布日期 | 1998.12.02 |
| 申请号 | CN97125554.7 | 申请日期 | 1997.12.15 |
| 申请人 | 三菱电机株式会社;菱电半导体系统工程株式会社 | 发明人 | 松本晓典;黑田健;伴功二;小西瞳子;横井直树 |
| 分类号 | H01L21/30;H01L21/304 | 主分类号 | H01L21/30 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 崔幼平;温大鹏 |
| 主权项 | 1.一种干燥装置，该干燥装置用水溶性的溶媒液(7)对处理对象(3、4)表面进行干燥，其特征在于：在该干燥装置上，设有处理槽(11)、加热装置(10)、扩散防止装置(13、14、15)、喷嘴(34)、及液体回收装置(36)；其中，处理槽(11)在上部具有向上开口并可取出放入上述处理对象的开口部(22)，并可在底部储存溶媒液，且在该储存的溶媒液上方可放入上述处理对象；加热装置(10)可以加热储存在上述处理槽底部的上述溶媒液；扩散防止装置(13、14、15)用于防止储存的上述溶媒液加热后产生的蒸汽(5)通过上述开口部从上述处理槽内部扩散到外部；喷嘴(34)通过向其提供上述溶媒液，可沿上述处理槽的侧壁的内侧表面形成流动的上述溶媒液的流体(29)，以覆盖该内侧表面；液体回收装置(36)回收流过上述内侧表面的上述溶媒液，并导向上述处理槽的外部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||