| 发明名称 |
TOPOGRAPHICALLY PRECISE THIN FILM COATING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0663019(B1) |
申请公布日期 |
1998.12.02 |
| 申请号 |
EP19930922774 |
申请日期 |
1993.09.29 |
| 申请人 |
ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
OKANO, MANABU |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/04;C23C14/35;H01J37/34;H02M7/06;(IPC1-7):C23C14/20 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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