发明名称 METHOD OF FORMING FINE PATTERN OF SEMICONDUTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0151014(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19940034500 申请日期 1994.12.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 JUNG, DONG-JIN
分类号 H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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