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发明名称
METHOD OF FORMING FINE PATTERN OF SEMICONDUTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR0151014(B1)
申请公布日期
1998.12.01
申请号
KR19940034500
申请日期
1994.12.15
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD
发明人
JUNG, DONG-JIN
分类号
H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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