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发明名称 METHOD FOR REMOVING REMAINING POLYSILICON
摘要
申请公布号 KR0150751(B1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19950019154 申请日期 1995.06.30
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND.CO.,LTD 发明人 YUN, YOUNG-HYUK;LEE, BYUNG-SUK
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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