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发明名称
DEVICE AND METHOD FOR WAFER TRANSFERENCE
摘要
申请公布号
KR0150052(B1)
申请公布日期
1998.12.01
申请号
KR19940019062
申请日期
1994.08.02
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND.CO.,LTD
发明人
KWON, WON-TAEK;KIL, MYUNG-KUN;KOO, YOUNG-MOO;KIM, SE-JUNG
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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