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经营范围
发明名称
ION DOSAGE CHECKING DEVICE
摘要
申请公布号
KR0128237(Y1)
申请公布日期
1998.12.01
申请号
KR19940031625U
申请日期
1994.11.28
申请人
LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD
发明人
KIM, KYUNG-HEE
分类号
H01L21/265;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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