发明名称 ION DOSAGE CHECKING DEVICE
摘要
申请公布号 KR0128237(Y1) 申请公布日期 1998.12.01
申请号 KR19940031625U 申请日期 1994.11.28
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 KIM, KYUNG-HEE
分类号 H01L21/265;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
地址