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发明名称
Musterprojektionsgerät und Belichtungsverfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号
DE69226139(T2)
申请公布日期
1998.11.26
申请号
DE19926026139T
申请日期
1992.09.02
申请人
CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
SATO, MAKOTO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号
G03F9/00;G03F7/20;G03F7/207;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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