发明名称 Musterprojektionsgerät und Belichtungsverfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE69226139(T2) 申请公布日期 1998.11.26
申请号 DE19926026139T 申请日期 1992.09.02
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SATO, MAKOTO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 G03F9/00;G03F7/20;G03F7/207;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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