| 发明名称 |
FORMING METHOD OF PHOSPHOSILICATE GLASS FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10310447(A) |
申请公布日期 |
1998.11.24 |
| 申请号 |
JP19970112721 |
申请日期 |
1997.04.30 |
| 申请人 |
ASAHI DENKA KOGYO KK |
发明人 |
ONOZAWA KAZUHISA;WATANABE TAKESHI |
| 分类号 |
C03C3/097;B01J19/08;C07F7/04;C23C16/40;C23C16/50;H01L21/316;(IPC1-7):C03C3/097 |
主分类号 |
C03C3/097 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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