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发明名称 VERTICAL GASEOUS PHASE-GROWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10312966(A) 申请公布日期 1998.11.24
申请号 JP19970122273 申请日期 1997.05.13
申请人 TOSHIBA MACH CO LTD 发明人 MIYANOMAE YOSHIHIRO;KASHIWAGI NOBUO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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