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发明名称 SPIN COATER
摘要
申请公布号 JPH10309510(A) 申请公布日期 1998.11.24
申请号 JP19970137694 申请日期 1997.05.13
申请人 PIONEER ELECTRON CORP;PIONEER VIDEO CORP 发明人 TANAKA WATARU
分类号 B05C11/08;G11B7/26;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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