Vorrichtung zur Bildung eines dünnen Films und Verfahren zur Bildung eines dünnen Films mittels dieser Vorrichtung,申请号DE19926025388T-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung zur Bildung eines dünnen Films und Verfahren zur Bildung eines dünnen Films mittels dieser Vorrichtung
摘要
申请公布号	DE69225388(T2)	申请公布日期	1998.11.19
申请号	DE19926025388T	申请日期	1992.12.22
申请人	TSUBOUCHI, KAZUO, SENDAI, MIYAGI, JP	发明人	TSUBOUCHI, KAZUO, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP;MASU, KAZUYA, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP
分类号	B01D1/14;B01D1/16;B01D1/20;B01D3/06;B01J7/02;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/44	主分类号	B01D1/14
代理机构		代理人
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