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发明名称 Wafer transfer system
摘要
申请公布号 EP0556865(B1) 申请公布日期 1998.11.18
申请号 EP19930102766 申请日期 1987.04.28
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 HERTEL, RICHARD J.;DELFORGE, ADRIAN D.;MEARS, ERIC L.;MACINTOSH, EDWARD D.;JENNINGS, ROBERT E.;BARGAVA, AKHIL;BARTULA, WILLIAM H.
分类号 H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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