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发明名称 ISOLATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND FORMATION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10308448(A) 申请公布日期 1998.11.17
申请号 JP19980104441 申请日期 1998.04.15
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 ZUN HI IMU
分类号 H01L21/28;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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