| 发明名称 |
Werkwijze en inrichting waarin ArF fotoresist wordt gebruikt. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL1007939(C2) |
申请公布日期 |
1998.11.17 |
| 申请号 |
NL19971007939 |
申请日期 |
1997.12.30 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
JAE CHANG JUNG;CHEOL KYU BOK;KI HO BAIK |
| 分类号 |
C07C67/347;C07C69/753;C08F2/00;C08F2/02;C08F2/06;C08F4/04;C08F4/34;C08F216/06;C08F222/06;C08F232/04;C08F232/08;C08F234/02;C08K5/00;C08L45/00;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08F232/08 |
主分类号 |
C07C67/347 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
