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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FILM FORMATION BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR0158780(B1) 申请公布日期 1998.11.16
申请号 KR19950054989 申请日期 1995.12.22
申请人 NEC CORP. 发明人 MURAKAMI, SINKO
分类号 C23C16/16;C23C16/448;C23C16/48;(IPC1-7):C30B25/17 主分类号 C23C16/16
代理机构 代理人
主权项
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