发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10303141(A) 申请公布日期 1998.11.13
申请号 JP19970125009 申请日期 1997.04.28
申请人 SONY CORP 发明人 SUENAGA ATSUSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/318;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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