| 发明名称 |
METHOD FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR COMPONENT BY AUTOMATIC MEASUREMENT OF PROBE TIP PARAMETER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10303260(A) |
申请公布日期 |
1998.11.13 |
| 申请号 |
JP19980126808 |
申请日期 |
1998.04.21 |
| 申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
THEODORE ANDREW HOLY;LAUN L GOODE;LARRY J BASTOS |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/06;G01R1/073;G01R3/00;G01R31/28;G01R31/316;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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