发明名称 CLEANING SOLUTION AND CLEANING
摘要
申请公布号 JPH10298589(A) 申请公布日期 1998.11.10
申请号 JP19980044084 申请日期 1998.02.25
申请人 OMI TADAHIRO 发明人 OMI TADAHIRO;BIZEN SHUNKICHI;JIZAIMARU TAKAYUKI;NITTA TAKEHISA
分类号 B08B3/08;C03C23/00;C09K13/00;C11D3/02;C11D3/39;C11D7/10;C11D7/18;C11D11/00;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):C11D7/10 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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