发明名称 |
Perfectionnements aux procédés et appareils utilisés pour l'obtention par dépôt en phase gazeuse de pièces de caractère anisotrope ou orienté |
摘要 |
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申请公布号 |
FR1434398(A) |
申请公布日期 |
1966.04.08 |
申请号 |
FR19650007165 |
申请日期 |
1965.02.26 |
申请人 |
SOCIETE GENERALE DU VIDE S. O. G. E. V. |
发明人 |
MALBERT PIERRE |
分类号 |
C01B31/00;C01B31/30;C04B35/52;C30B25/00 |
主分类号 |
C01B31/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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