发明名称 METHOD OF DETECTING WIRING DEFECT USING ELECTRON BEAM TESTER AND ELECTRON BEAM TESTER
摘要
申请公布号 JPH10294344(A) 申请公布日期 1998.11.04
申请号 JP19970101960 申请日期 1997.04.18
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NORIMATSU KENJI
分类号 G01R31/302;H01L21/3205;H01L21/66;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/320 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
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