发明名称 FOREIGN MATERIAL INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10293100(A) 申请公布日期 1998.11.04
申请号 JP19970115140 申请日期 1997.04.16
申请人 HORIBA LTD 发明人 KANZAKI TOYOKI
分类号 G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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