发明名称 | 二氧化硅增透膜的制备方法 | ||
摘要 | 一种二氧化硅增透膜的制备方法,采用溶胶-凝胶法在基片上制成用于增透膜的二氧化硅膜层。制成的二氧化硅膜层置入带有控温系统的加热炉中的加热管内,加热管内通入氨气,并对加热管缓慢升温,升高温度T>200℃时再保温一定时间后逐渐降到室温。经过本发明的碱性高温强化处理的二氧化硅膜层与基片的结合力强,能够经受较大强度的擦洗,并能承受高温或强光的辐射。 | ||
申请公布号 | CN1197928A | 申请公布日期 | 1998.11.04 |
申请号 | CN97106405.9 | 申请日期 | 1997.04.29 |
申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 朱从善;汤加苗 |
分类号 | G02B1/10 | 主分类号 | G02B1/10 |
代理机构 | 上海华东专利事务所 | 代理人 | 李兰英 |
主权项 | 1.一种二氧化硅增透膜的制备方法,采用溶胶-凝胶法在基片上制成作为增透膜的二氧化硅膜层,其特征在于制成的二氧化硅膜层经过碱性高温强化处理。 | ||
地址 | 201800上海市800-211邮政信箱李兰英 |