发明名称 二氧化硅增透膜的制备方法
摘要 一种二氧化硅增透膜的制备方法,采用溶胶-凝胶法在基片上制成用于增透膜的二氧化硅膜层。制成的二氧化硅膜层置入带有控温系统的加热炉中的加热管内,加热管内通入氨气,并对加热管缓慢升温,升高温度T>200℃时再保温一定时间后逐渐降到室温。经过本发明的碱性高温强化处理的二氧化硅膜层与基片的结合力强,能够经受较大强度的擦洗,并能承受高温或强光的辐射。
申请公布号 CN1197928A 申请公布日期 1998.11.04
申请号 CN97106405.9 申请日期 1997.04.29
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 朱从善;汤加苗
分类号 G02B1/10 主分类号 G02B1/10
代理机构 上海华东专利事务所 代理人 李兰英
主权项 1.一种二氧化硅增透膜的制备方法,采用溶胶-凝胶法在基片上制成作为增透膜的二氧化硅膜层,其特征在于制成的二氧化硅膜层经过碱性高温强化处理。
地址 201800上海市800-211邮政信箱李兰英