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发明名称 WAFER DRY-SPINNING METHOD
摘要
申请公布号 KR0146070(B1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19980003051 申请日期 1998.02.04
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 YU, YONG-HWAN
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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