| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0147635(B1) |
申请公布日期 |
1998.11.02 |
| 申请号 |
KR19950010114 |
申请日期 |
1995.04.27 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD |
发明人 |
MOON, JONG;SIM, TAE-UN |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/48;C30B29/32;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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