PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA LA DETERMINACION Y EL CONTROL DE LA COMPOSICION DE LA MEZCLA GASEOSA REACTIVA QUE ACTUA SOBRE UN SUBSTRATO EN EL TRANSCURSO DE UN TRATAMIENTO FISICO-QUIMICO BAJO ATMOSFERA RARIFICADA.

摘要

PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA LA DETERMINACION Y EL CONTROL DE LA COMPOSICION DE LA MEZCLA GASEOSA REACTIVA QUE ACTUA SOBRE UN SUBSTRATO EN EL TRANSCURSO DE UN TRATAMIENTO FISICO-QUIMICO BAJO ATMOSFERA RARIFICADA, CUYO PROCEDIMIENTO CONSISTE EN EFECTUAR UN ANALISIS ESPECTROSCOPICO DE LAS EMISIONES DEL PLASMA DE VAPOR ENGENDRADO AL NIVEL DE UN BLANCO (10) SOMETIDO A UNA DESCARGA DE ARCO, DEDUCIR DEL RESULTADO DE ESTE ANALISIS LA CONCENTRACION DE LAS ESPECIES RADIANTES Y ACTUAR SOBRE LOS DIFERENTES PARAMETROS DE LA INSTALACION TALES COMO LOS CAMPOS ELECTRICOS Y MAGNETICOS APLICADOS AL BLANCO (10) ASI COMO SOBRE LOS FLUJOS DE GAS PARA MANTENER ESTA CONCENTRACION AL NIVEL DESEADO. LA INVENCION SE APLICA PRINCIPALMENTE A LOS DEPOSITOS DE CAPAS MONO O MULTI-ELEMENTOS TALES COMO CARBONITRUROS METALICOS SOBRE UN SUBSTRATO (3).