| 发明名称 |
Process of making a self-aligned contact window in integrated circuits |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0550174(B1) |
申请公布日期 |
1998.10.28 |
| 申请号 |
EP19920311252 |
申请日期 |
1992.12.10 |
| 申请人 |
AT&T CORP. |
发明人 |
LEE, KUO-HUA;YU, CHEN-HUA DOUGLAS |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/60;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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