栅控混合管及其制备方法

摘要

一种栅控混合管,在现有栅控混合管的漏区与体区之间增加一个轻掺杂漏区;以及制备该种栅控混合管的方法,通过注入退火,杂质横向推进形成沟道,增加基区注入;降低了Early效应,提高了器件的击穿电压,减小热电子效应,减弱特性退化;在不需要亚微米工艺的条件下实现深亚微米器件的制备,解决了普通BJT中电流增益与Early效应之间的矛盾以及沟道长度、电流增益与击穿电压之间的矛盾,适用于深亚微米电路及模拟电路等。

主权项

1.一种栅控混合管，其特征在于在现有栅控混合管的漏区与体区之间增加一个轻掺杂漏区；对于n型管，在现有n型栅控混合管的漏区与体区之间增加一个轻掺杂n-漏区；或对于p型管，在现有p型栅控混合管的漏区与体区之间增加一个轻掺杂p-漏区。