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发明名称 EXTREMELY HIGH VACUUM ENVIRONMENTAL DEVICE AND EXTREMELY HIGH VACUUM ENVIRONMENT FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10288277(A) 申请公布日期 1998.10.27
申请号 JP19970097621 申请日期 1997.04.15
申请人 NIPPON SANSO KK 发明人 SOMA TAKESHI
分类号 F16K51/02;B01J3/02;(IPC1-7):F16K51/02 主分类号 F16K51/02
代理机构 代理人
主权项
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