| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING THIN GLASS SUBSTRATE AND DEVICE FOR CLEANING THIN GLASS SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10286535(A) |
申请公布日期 |
1998.10.27 |
| 申请号 |
JP19970097405 |
申请日期 |
1997.04.15 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI DEVICE ENG CO LTD |
发明人 |
SEKINO YOSHIHIKO |
| 分类号 |
G02F1/1333;B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/02;G02F1/133 |
主分类号 |
G02F1/1333 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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