发明名称 MIS-STRUCTURED SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS EVALUATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10289935(A) 申请公布日期 1998.10.27
申请号 JP19970098985 申请日期 1997.04.16
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 OGAWA SHIGEO
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L29/78;H01L29/94;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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