发明名称 |
MIS-STRUCTURED SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS EVALUATING METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10289935(A) |
申请公布日期 |
1998.10.27 |
申请号 |
JP19970098985 |
申请日期 |
1997.04.16 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
OGAWA SHIGEO |
分类号 |
G01R31/28;H01L21/66;H01L29/78;H01L29/94;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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