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发明名称 MAGNIFICATION CALIBRATOR AND PROFILE MEASURING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10281736(A) 申请公布日期 1998.10.23
申请号 JP19970086735 申请日期 1997.04.04
申请人 NIKON CORP 发明人 ICHIKAWA HAJIME
分类号 G01B11/02;G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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