| 发明名称 |
SUBSTRATE TEMPERATURE CONTROL EQUIPMENT AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10284360(A) |
申请公布日期 |
1998.10.23 |
| 申请号 |
JP19970083920 |
申请日期 |
1997.04.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SUGAYA MASAKAZU;MURAI FUMIO;KANEKO YUTAKA;KANETOMO MASABUMI;HIRASAWA SHIGEKI;WATANABE TOMOJI;YAMAMOTO TATSUHARU;KURODA KATSUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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