| 发明名称 |
CHEMICAL SWITCHING VALVE AND WAFER WASHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10281313(A) |
申请公布日期 |
1998.10.23 |
| 申请号 |
JP19970088585 |
申请日期 |
1997.04.08 |
| 申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MATSUDA TAKUO |
| 分类号 |
F16K27/00;F16K11/10;H01L21/304;(IPC1-7):F16K11/10 |
主分类号 |
F16K27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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