发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10284503(A) 申请公布日期 1998.10.23
申请号 JP19970090577 申请日期 1997.04.09
申请人 NEC CORP 发明人 KANAMORI SHUJI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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