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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10284438(A) 申请公布日期 1998.10.23
申请号 JP19970083461 申请日期 1997.04.02
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ASAMURA TAKESHI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8238;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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