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发明名称
摘要
申请公布号 JP2813409(B2) 申请公布日期 1998.10.22
申请号 JP19900083094 申请日期 1990.03.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/603;H01L21/321;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
主权项
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