发明名称 A METHOD FOR REDUCTION OF SELECTED ION INTENSITIES IN CONFINED ION BEAMS
摘要
申请公布号 EP0871977(A1) 申请公布日期 1998.10.21
申请号 EP19970903735 申请日期 1997.01.03
申请人 BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE 发明人 EIDEN, GREGORY, C.;BARINAGA, CHARLES, J.;KOPPENAAL, DAVID, W.
分类号 G01N27/62;H01J27/02;H01J49/06;H01J49/10;H01J49/14;H01J49/26;H01J49/42;(IPC1-7):H01J49/10 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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