| 发明名称 |
VACUUM TREATING DEVICE FOR FORMING THIN COATING FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10280131(A) |
申请公布日期 |
1998.10.20 |
| 申请号 |
JP19980097027 |
申请日期 |
1998.04.09 |
| 申请人 |
LEYBOLD SYST GMBH |
发明人 |
MAIDHOF HANS;SCHUESSLER HANS;KUNKEL STEFAN;BEUL JOHANNES |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
