| 发明名称 |
Chemisch versterkte resistsamenstelling, die silicum bevat. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL1006624(C2) |
申请公布日期 |
1998.10.14 |
| 申请号 |
NL19971006624 |
申请日期 |
1997.07.18 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
SANG-JUN CHOI;CHUN-GEUN PARK;HAI-WON LEE |
| 分类号 |
G03F7/004;C08F30/08;C08L43/04;G03F7/039;G03F7/075;(IPC1-7):C08F30/08;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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