发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM PRODUCT AND PRODUCTION LINE CONTROL SYSTEM FOR THIN-FILM PRODUCT
摘要
申请公布号 JPH10275842(A) 申请公布日期 1998.10.13
申请号 JP19970079927 申请日期 1997.03.31
申请人 HITACHI LTD 发明人 KIRINO KEIKO
分类号 C23C14/54;C23F4/00;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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