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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10275916(A) 申请公布日期 1998.10.13
申请号 JP19970079992 申请日期 1997.03.31
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 JINNO MASASHI
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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