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发明名称 ETCHING TREATMENT EQUIPMENT AND ITS OPERATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH10275797(A) 申请公布日期 1998.10.13
申请号 JP19970078227 申请日期 1997.03.28
申请人 ADVANCED DISPLAY:KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YOSHIDA TAKUJI;KUME SATOSHI;FUJIWARA MASAKUNI;OGURO HIROYUKI;ODA MASAO
分类号 C23F1/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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